这种RTO废气处理设备通常用来处理中低浓度的工业废气(有机废气)。它的基本原理是在高温下将可直燃气体分解成氧化物和水，来净化废气，并收集气体分解时所释放出的热能，气体分解效率高达99%之上，热回收效率高达95%之上。RTO废气处理装置主要结构由燃烧仓、陶瓷填料床和切换阀等构成。

RTO废气处理装置的工艺流程：

把工业废气加温升温至800℃，使气体中的有机废气氧化分解，变成无害的CO2和H2O；氧化时的高温气体的热能被蓄热体“储存”起来，用来预热新进到的工业废气，以此节约升温所要的燃料损耗，减少运作成本。

第一步、工业废气经高压引风机进到蓄热室的留存了上个循环热能的陶瓷介质层后，陶瓷放出热能，温度减少，而工业废气吸收热能，温度升高。气体离开蓄热室后，以较高的温度进到燃烧仓，准备完成氧化。

第二步、在燃烧仓中，工业废气再由燃烧器加温燃烧，加热升温至制定的氧化温度，这时温度为制定的800℃，使有机物被拆解成二氧化碳和水。鉴于气体已在蓄热室内完成过预热，燃烧器的燃料消耗量大幅减少。

第三步、气体流经蓄热室升温后进到氧化室焚烧，变成净化后的高温气体后离开氧化室，进到在上个循环已冷却的蓄热室。于此气体放出热能，降温后排出，而蓄热室吸收大量的热能后升温，其吸收的热能用来下个循环加温气体。

第四步、于此同时，气体引风机经过反吹风管，从蓄热室抽取少量前一循环残存在其中的少量有机气体，回送至气体风机进口处，再送入燃烧仓中完成焚烧，此部分气体同处理后气体一同离开蓄热室，经热回收设备排进大气。